DZJ系列 气冷式罗茨真空泵 是在普通罗茨真空泵的基础上增加了旁路气体冷却系统。外置冷却器使气体自动进行循环冷却转子与泵体，冷却气体从泵体的两侧进入泵的吸气腔，使泵不会因压缩气体而出现过热，使其可以在高压差和高压缩比下长期可靠运行，但对泵的抽气性能没有任何影响。泵可以单独使用也可以多台串联使用，或与液环真空泵和普通罗茨真空泵串联成机组，达到更高真空度来满足各类工艺要求。

产品特点

● 可直排大气，无废水排放；
● 可与前级泵串联组成罗茨机组，节能效果显著。与普通罗茨泵相比，因ZJQ气冷式罗茨真空泵可高压差工作，可适当减小前级泵从而达到节能效果。
● 适用范围宽。因排气侧可承受高压力，有效地解决了普通罗茨真空泵因压差过大、前级泵真空度差而造成的过载、过热现象；
● 可在更高的入口压力下工作。ZJQ系列气冷式罗茨真空泵理论上可以在入口为大气压力的状况下工作；
● 电机功率不确定。ZJQ系列气冷式罗茨真空泵需根据工艺条件计算实际工作时的最大压差从而确定所需的电机功率。

技术参数

应用领域

气冷罗茨真空泵广泛应用于各种工业领域，如半导体制造、真空冶金、真空干燥、真空包装等。具体来说，气冷罗茨真空泵可以用于以下几个方面：

半导体制造：气冷罗茨真空泵可以用于半导体制造过程中的真空抽气，如薄膜沉积、离子注入等。

真空治金：气冷罗茨真空泵可以用于真空治金过程中的真空抽气，如真空熔炼、真空淬火等。

真空干燥：气冷罗茨真空泵可以用于真空干燥过程中的真空抽气，如食品干燥、木材干燥等。

真空包装：气冷罗茨真空泵可以用于真空包装过程中的真空抽气，如食品包装、药品包装等。

☆ 在线精密计量添加                                                           ☆ 双组份在线计量 

☆ 狭缝涂布计量输送                                                           ☆ 高粘流体计量输送 

☆ 涂胶                                                                               ☆ 喷涂 

☆ OCA涂覆                                                                       ☆ 聚酰亚胺薄膜 

☆ 光学膜                                                                           ☆ 屏幕保护膜 

☆ 窗轨润滑注入                                                                 ☆ 窗膜