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该工序主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。

适用产品：罗茨真空机组，干式螺杆真空泵，旋片式真空泵，涡旋泵，分子泵等泵浦。