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该工序主要分为三类真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜，通过物理方法将材料源的基体表面沉积形成特殊功能的薄膜。

适用产品：罗茨真空机组，干式螺杆真空泵，旋片式真空泵，分子泵等泵浦。