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该工序是一种材料表面改性技术，把某种元素的原子电离成离子，最后停留在材料中，使其发生一系列物理和化学的相互作用，从而获得优异的表面性能。

适用产品：罗茨真空机组，干式螺杆真空泵，旋片式真空泵，分子泵等泵浦。