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该工序主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。

适用产品：罗茨真空机组，干式螺杆真空泵，旋片式真空泵，涡旋泵，分子泵等泵浦。

该工序是将两种及以上具有不同温度、压力、成分和相态的层面或部分分离开来，同时负压状态可以降低物料的沸点，节约加热成本。

适用产品：罗茨真空机组，干式螺杆真空泵，旋片式真空泵等泵浦。

该工序是通过提高真空度降低物料沸点，从固体中蒸发液体，使生物成分或活性成分不被破坏，来降低或氧化生物制品。

适用产品：罗茨真空机组，干式螺杆真空泵，液环式真空泵等泵浦。

该工序是利用真空与大气之间的压力差产生的力来输送物料，形成管道内气体流动，带动粉状物料运动，从而完成粉体的输送。

适用产品：罗茨真空机组，干式螺杆真空泵，旋片式真空泵等泵浦。

该工序是将过度的饱和液体蒸发和冷却形成晶体，从而可以通过调节压力来控制蒸发和冷却速度，并通过降低液体沸点来降低成本。

适用产品：罗茨真空机组，干式螺杆真空泵，旋片式真空泵等泵浦。