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该工序是在一种惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

适用产品：干式螺杆真空泵、滑阀真空泵、扩散泵、旋片真空泵、罗茨真空机组等泵浦。