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该工序是新发展起来的外延制膜方法，它是在适当的衬底与合适的条件下，沿衬底材料晶轴方向逐层生长薄膜的方法。

适用产品：干式螺杆真空泵、滑阀真空泵、扩散泵、旋片真空泵、罗茨真空机组等泵浦。