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该工序是利用物理方法产生沉积薄膜，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀，在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。

适用产品：干式螺杆真空泵、滑阀真空泵、扩散泵、旋片真空泵、罗茨真空机组等泵浦。