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该工序气体中混有电解液，电池充放电后解析的气体，有微量的氢氟酸，要求真空泵具备一定抗溶剂、抗腐蚀的能力。

适用产品：干式螺杆真空泵，旋片式真空泵，涡旋真空泵等泵浦。