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该工序气体中可能混有正负极材料粉末(极片干燥)，水蒸气（电芯及极片干燥）要求真空泵具备一定抗粉尘、水汽的能力。

适用产品：罗茨真空机组，干式螺杆真空泵，旋片真空泵等泵浦。