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该工序气体中可能混有正极材料粉末，正极溶剂及负极材料粉末，负极溶剂，要求真空泵具备一定抗粉尘、水汽及其他溶剂(NMP)的能力。

适用产品：罗茨真空机组，干式螺杆真空泵，旋片式真空泵等泵浦。