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该工序气体中混有电解液，有可能会有微量的LPF6（六氟磷酸锂)，要求真空泵具备一定抗溶剂、抗腐蚀的能力。

适用产品：罗茨真空机组，干式螺杆真空泵，旋片真空泵，液环式真空泵等泵浦。