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江苏泉天下智能装备有限公司是一家集高端特种泵及泵浦应用系统研发、生产为主营业务的高科技公司。主要服务于化工制药、半导体、新能源电池、光伏镀膜等领域,可提供产品包括干式螺杆真空泵、旋片真空泵、水环真空泵、罗茨真空泵等真空设备,还可为您量身定制个性化的罗茨真空机组和不同性能需求的真空系统应用解决方案。如果想了解更多真空泵知识或者想购买此类产品的意愿,欢迎来电咨询了解!联系方式:0513-68302911 / 19168500859 (微信同号)
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单晶炉
该工序是在一种惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
适用产品:干式螺杆真空泵、滑阀真空泵、扩散泵、旋片真空泵、罗茨真空机组等泵浦。
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真空脱气
该工序气体中可能混有正极材料粉末,正极溶剂及负极材料粉末,负极溶剂,要求真空泵具备一定抗粉尘、水汽及其他溶剂(NMP)的能力。
适用产品:罗茨真空机组,干式螺杆真空泵,旋片式真空泵等泵浦。
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EOL检测
该工序气体中可能混有正极材料粉末,正极溶剂及负极材料粉末,负极溶剂,要求真空泵具备一定抗粉尘、水汽及其他溶剂(NMP)的能力。
适用产品:罗茨真空机组,干式螺杆真空泵,旋片式真空泵等泵浦。
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物理气相沉积
该工序主要分为三类真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜,通过物理方法将材料源的基体表面沉积形成特殊功能的薄膜。
适用产品:罗茨真空机组,干式螺杆真空泵,旋片式真空泵,分子泵等泵浦。
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离子注入
该工序是一种材料表面改性技术,把某种元素的原子电离成离子,最后停留在材料中,使其发生一系列物理和化学的相互作用,从而获得优异的表面性能。
适用产品:罗茨真空机组,干式螺杆真空泵,旋片式真空泵,分子泵等泵浦。
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晶圆清洗
晶圆单片清洗工艺流程是IC制造中极其重要的工艺环节之一,它的主要作用是清除晶圆上的杂质和附着物,保证晶圆的纯净度和良率。
适用产品:罗茨真空机组,干式螺杆真空泵,旋片式真空泵,分子泵等泵浦。
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